在微电子用清洁室、药品生产用清洁室中，，，，，经常在产品生产历程中使用或爆发，，，，，种种酸性和碱性物质、有机溶剂和一样平常气体、特种气体；；；；；；；在致敏性药物、某些甾体药物、高活性、有毒性药物生产历程还会有响应的有害物质倾轧或走漏进入清洁室内，，，，，为此关于清洁室内可能倾轧种种有害物质、气体或粉尘的生产工艺装备/工序设置局部排风装置/全室排风装置，，，，，按生产工艺历程倾轧的废气类型可将排风装置（系统）概略划分为下列几种类型：

（1）一样平常排风系统

指在生产辅助用室、生涯用室，，，，，如值班室、卫生间等倾轧的一样平常废气，，，，，大大都情形下不需要举行特殊处置惩罚即可直接排入大气。。。。。。。。

（2）有机气体排风系统

在产品生产中使用种种有机物质、溶剂作为原辅质料或洗濯剂时，，，，，都将会在相关场合或装备处散发有机物质、溶剂的气体，，，，，应设置排风装置。。。。。。。。在一样平常情形下，，，，，有机排风系统中的有机气体浓度很低，，，，，若能抵达国家标准划定的大气排放标准则可直接排入大气，，，，，不需设置废气处置惩罚装置；；；；；；；但当排风系统中有机气体浓度凌驾划准时，，，，，应设有机气体处置惩罚装置，，，，，经处置惩罚达标后才华排入大气。。。。。。。。有机排气的净化处置惩罚有活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等：

活性炭吸附法主要用于中小流量且不含粉尘、胶粘物质的苯类、汽油类有机排气的处置惩罚；；；；；；；液体吸收法装备简朴、耗能低，，，，，但吸收效率不高；；；；；；；催化燃烧法主要用于较高浓度的苯类、醇类、脂类、汽油等有机排气的处置惩罚。。。。。。。。

有机气体处置惩罚装置应凭证排风系统所含有机物质的品种、浓度情形选用响应的处置惩罚装备。。。。。。。。

（3）酸性/碱性气体排风系统

在产品生产中的湿法化学侵蚀、酸液洗濯、实验室内均有酸性气体倾轧，，，，，在这类酸性气体的排风系统通常设置湿式洗气吸收塔处置惩罚后排入大气；；；；；；；排风系统气体中含有碱性物质或排气中混入碱性化学试剂时，，，，，与酸性气体排风系统类似，，，，，通常接纳湿式洗气吸收塔处置惩罚后排入大气。。。。。。。。

近年来，，，，，由于大气排放标准越来越严酷，，，，，需对含有酸性/碱性物质浓度较低的排气也应举行净化处置惩罚才华抵达排放标准，，，，，为此可接纳专用吸附剂对酸性/碱性排气举行处置惩罚达标后才华排入大气，，，，，此种吸附剂一样平常为一次性的，，，，，使用后通常作为固体放弃物由都会垃圾处置惩罚场集中处置惩罚。。。。。。。。

（4）热气体排风系统

对生产历程中的种种炉子、高温灭菌装备等均有热气倾轧，，，，，由于排气温度校高，，，，，有时可接纳热接纳等方法举行处置惩罚，，，，，若排宇量较小或未便举行处置惩罚时，，，，，在接纳须要的隔热步伐后直接排入大气。。。。。。。。

（5）含粉尘的排风系统

鉴于产品品种差别、生产工艺历程差别，，，，，排气中的粉尘性子、浓度均各差别，，，，，应凭证其排气中的粉尘性子、浓度选用种种除尘装置，，，，，一样平常接纳布袋除尘器、带过滤元件的过滤装置。。。。。。。。

（6）特殊气体排气系统

在半导体集成电路生产中经常需使用一些特殊气体，，，，，其中许多特殊气体均属于易燃易爆/有毒/有侵蚀性的气体，，，，，关于这类排气系统首先应按特气的品种、性子划分，，，，，避免在排气系统中爆发化学反应；；；；；；；其次应选用专用的放弃处置惩罚装置，，，，，特气排气的处置惩罚要领有稀释法、吸收法、吸附法、催化燃烧法等；；；；；；；最后，，，，，排气系统的装备、管道的质料选用必需凭证排气中的特气性子选择相顺应的材质，，，，，阻止与排放的特气爆发反应。。。。。。。。

（7）药品生产中有害、有毒的排风系统

在生产或分装青霉素等强致敏性药物、某些甾体药物以及高活性、有毒药物的房间、二类危险度以上病原体操作区的排风口，，，，，应装置高效过滤器，，，，，使污染危险降至最低限度。。。。。。。。并且此类排风系统排风口与新风进风口应相隔一定距离。。。。。。。。